MEMS三维芯片集成技术 后摩尔时代MEMS芯片技术路线图 硅基MEMS以及围绕系统集成技术 MEMS器件集成电路半导体等领域从业人员参考9787122427113 书籍信息
ISBN:9787122427113作者:（日）江刺正喜（Masayoshi Esashi）
字数:583000
版次:第1版
页数:0
出版社:化学工业出版社
审图号:9787122427113
出版时间:2023-07-01
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